產(chǎn)品概述/Product Introduction：

本設(shè)備主要用于氧化鎵（Ga2O3）、氮化鋁（AIN）等外延生長(zhǎng)。

This device is mainly used for epitaxial growth of gallium oxide (Ga2O3), aluminum nitride (AIN), and other materials.

提供2英寸驗(yàn)證工藝

Provide 2 inches validation process.

產(chǎn)品特點(diǎn)/Product Characteristics：

?襯底: 2-8英寸

Substrate size: 2-8 inches

?數(shù)量: 1片/多片

Quantity: 1pcs/multiple pcs

?控溫精度: 精度高，溫區(qū)穩(wěn)定性好

Temperature control precision : High temperature control precision and good statlity in temperature zone.

?結(jié)構(gòu): 立式/臥式可選，滿足多種尺寸襯底多種操作方式需要

Structure: Vtica/horizontal structual is optional,can meet theneeds of customerswith various sizes ofsubstrates and variousoperation modes.

?設(shè)備保護(hù)功能: 硬件保護(hù)+軟件互鎖

Security protection: Hardware protection+software interlock.

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